低真空プラズマ処理装置

特徴
 プラズマ装置の新しいかたち！
☆ 真空度：２０Pa～１００Paの低真空でプラズマ発生
☆ 高速処理〔真空引きから排気まで〕が可能（生産性向上）
☆ ３D（立体）処理が可能（今までのプラズマ装置はほぼ２D処理のみ）
☆ マッチングボックス不要（負荷に応じて自己マッチングするため）
☆ 装置の低価格化が可能
仕様など ・カタログ[pdf]
・評価データ[pdf]

 

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