低真空プラズマ処理装置

特徴
プラズマ装置の新しいかたち!
☆ 真空度:20Pa~100Paの低真空でプラズマ発生
☆ 高速処理〔真空引きから排気まで〕が可能(生産性向上)
☆ 3D(立体)処理が可能(今までのプラズマ装置はほぼ2D処理のみ)
☆ マッチングボックス不要(負荷に応じて自己マッチングするため)
☆ 装置の低価格化が可能
仕様など カタログ[pdf]
評価データ[pdf]